不斷探索,行業爭先:電子級硅芯清洗設備即將交付客戶

欄目:重大新聞 發布時間:2023-09-11
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近日,公司子公司常州捷佳創精密機械有限公司完全自主研發的電子級硅芯清洗設備成功下線,將于近日部署至某合作客戶處。 

此款硅芯清洗設備是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蝕清洗設備,用于清洗硅芯表面有機物、氧化物和金屬離子,采用堿洗、酸洗、超聲、機能水等工藝,產品可用于高純光伏硅片和半導體硅片的生產制程,清洗后總表金屬≤0.2ppbm。

 主要技術特點:

1. 材料升級:與德國Rochling合力開發耐氧化,耐高溫材料用于槽體制作。

2. 工藝升級:結合國外成熟工藝與機能水清洗工藝,清洗能力更強。

3. 內部潔凈升級:內部流場的全新設計,搭配更高效FFU、抽風通道及酸堿隔離裝置,內部更潔凈。

4. 結構升級:底部龍門式Robot設計,運載更穩定,運動部件產生的Particle可更快排出設備外。

5. 硅芯載體優化,更穩定的結構,更小的接觸面積配合旋轉機構,清洗更徹底。

6. 制作升級:槽體及槽內零件多采用折彎制作工藝,減少犄角疙瘩及焊接內的藏污納垢。

7. 裝配升級:全設備設置在千級潔凈室生產。 

長期以來,電子級硅芯硅料清洗設備市場份額都被外國廠商占有,捷佳偉創作為太陽能光伏電池設備行業先進企業及半導體設備制造商,堅持以研發制造先進專業設備,推動國內相關行業發展為己任。憑借雄厚的研發實力及近年來探索泛半導體行業裝備開發經驗,接連推出多款性能出眾、引領行業的清洗設備。此次電子級硅芯硅料清洗設備研發的過程中,研發人員攻堅克難,突破了諸多關鍵技術,為設備的成功研發奠定了堅實的技術基礎,并成為國內率先達到電子級標準的硅芯硅料清洗設備研發生產廠商。目前公司已實現表金屬0.5ppbw以上等級的電子級硅料批量出貨,2024第一季度將推出0.1ppbw以下的產品。 

未來,公司將繼續秉承“技術領先,管理領先,服務領先”的發展戰略,繼續精進光伏電池生產設備及半導體濕法清洗設備研發,并向更廣闊的產品領域和更豐富的技術路線繼續發展,為客戶提供技術先進、質量過硬、服務周到的產品。


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